Shoebox

13.56MHz/300W

 

Zusammen mit unseren MatchingCubes sind die Shoebox HF-Generatoren geeignet für ICP- und CCP-Anlagen. Sie finden Anwendungen in RF Sputtering, Thin Film Coating, PE-CVD, Reactive Ion Etching (RIE) und Substrate Biasing.

Die HF-Generatoren der Shoebox-Familie sind moderne, robuste Generatoren. Sie haben einen hohen Wirkungsgrad von typisch mindestens 70%. Ein Microcontroller sorgt dafür, dass der Generator in jedem Augenblick sicher und zuverlässig arbeitet. Sie können den HF-Generator über eine serielle Schnittstelle fernsteuern. Eine Software gehört zum Lieferumfang.

RF Power Accuracy:+- 3% / 3WCooling:Forced Air
Load Impedance:50 OhmsMains Power:90 – 240V / 50 Hz
Harmonic Distortion< -30 dBcRF Output:N
Pulse Frequency:10 kHz max.Remote Control RS-232:Sub-D9
Pulse Length:50 – 9949 usec.MatchingCube:Sub-D9
Ignition:< 10 sec.Interlock:Sub-D9
Ambient Temperature:10 – 35°CAnalog Interface:Sub-D25

Die genannten Daten sind typische Standardwerte.
Bitte fragen Sie für ein konkretes Modell nach einem Datenblatt.

Art.No.ProductFrequency [MHz]Power [W]
198050RFG-13-10013.56100
198000RFG-13-30013.56300

Weitere Modelle sind auf Anfrage erhältlich.