RFG-3U

up to 100 MHz/1000 W

Zusammen mit unseren MatchingCubes sind die HF-Generatoren geeignet für ICP- und CCP-Anlagen. Sie finden Anwendungen in RF Sputtering, Thin Film Coating, PE-CVD, Reactive Ion Etching (RIE) und Substrate Biasing.

Die HF-Generatoren der RFG-3U Familie sind moderne, robuste Generatoren. Sie haben einen hohen Wirkungsgrad von typisch mindestens 70%. Ein Microcontroller sorgt dafür, dass der Generator in jedem Augenblick sicher und zuverlässig arbeitet. Das Touch-Panel bietet Ihnen eine übersichtliche und komfortable Bedienung. Außerdem können Sie den HF-Generator über eine serielle Schnittstelle fernsteuern. Eine Software gehört zum Lieferumfang.

RF Power Accuracy:+- 3% / 3WCooling:Forced Air
Load Impedance:50 OhmsMains Power:90 – 240V / 50 Hz
Harmonic Distortion< -30 dBcRF Output:N
Pulse Frequency:20 kHz max.Remote Control RS-232:Sub-D9
Pulse Length:50 – 9949 usec.MatchingCube:Sub-D9
Ignition:< 10 sec.Interlock:Sub-D9
Ambient Temperature:10 – 35°CAnalog Interface:Sub-D25

Art.No.ProductFrequency [MHz]Power [W]
187340RFG-2-100021000
187310RFG-13-100013.561000
187280RFG-27-50027.12500
RFG-27-100027.121000
RFG-40-50040.68500
187100RFG-40-100040.681000
187095RFG-60-50060500
187350RFG-80-50080500
187530RFG-81-50081.36500
187240RFG-81-100081.361000

Weitere Modelle sind auf Anfrage erhältlich.