RFG-2U

up to 200 MHz/600 W

Zusammen mit unseren MatchingCubes sind die HF-Generatoren geeignet für ICP- und CCP-Anlagen. Sie finden Anwendungen in RF Sputtering, Thin Film Coating, PE-CVD, Reactive Ion Etching (RIE) und Substrate Biasing.

Die HF-Generatoren der RFG-2U Familie sind moderne, robuste Generatoren. Sie haben einen hohen Wirkungsgrad von typisch mindestens 70%. Ein Microcontroller sorgt dafür, dass der Generator in jedem Augenblick sicher und zuverlässig arbeitet. Das Touch-Panel bietet Ihnen eine übersichtliche und komfortable Bedienung. Außerdem können Sie den HF-Generator über eine serielle Schnittstelle fernsteuern.

Eine Software gehört zum Lieferumfang.

RF Power Accuracy:+- 3% / 3WCooling:Forced Air
Load Impedance:50 OhmsMains Power:90 – 240V / 50 Hz
Harmonic Distortion< -30 dBcRF Output:N
Pulse Frequency:20 kHz max.Remote Control RS-232:Sub-D9
Pulse Length:50 – 9949 usec.MatchingCube:Sub-D9
Ignition:< 10 sec.Interlock:Sub-D9
Ambient Temperature:10 – 35°CAnalog Interface:Sub-D25

Art.No.ProductFrequency [MHz]Power [W]
198060RFG-13-100-L13.56100
198200RFG-27-100-L27.12100
198220RFG-40-100-L40.68100
198320RFG-2-300-L2300
198300RFG-13-300-L13.56300
198310RFG-27-300-L27.12300
198330RFG-40-300-L40.68300
198340RFG-54-300-L54.24300
198350RFG-60-300-L60300
198360RFG-80-300-L80300
198370RFG-81-300-L81.36300
198380RFG-100-300-L100300
198510RFG-13-600-L13.56600

Weitere Modelle sind auf Anfrage erhältlich.