PowerCube

13.56MHz/up to 1200W

Zusammen mit unseren MatchingCubes sind die PowerCubes geeignet für ICP- und CCP-Anlagen. Sie finden Anwendungen in RF Sputtering, Thin Film Coating, PE-CVD, Reactive Ion Etching (RIE) und Substrate Biasing.

In Kürze werden unsere neuen HF-Generatoren verfügbar sein: der PowerCube.
In die Entwicklung haben wir unser Wissen und über Jahre gesammelte Erfahrung einfließen lassen. Wir verfolgen drei Ziele: Der neue Generator wird robust, flexibel und preiswert sein. Das Produkt wird zwei Modell-Linien besitzen:

PowerCube plain und PowerCube flex. Im PowerCube flex wird ein schneller ARM Prozessor für Flexibilität sorgen: aktive Front, digitale Schnittstellen und schneller Pulsmodus. Der PowerCube plain ist auf das Wesentliche reduziert: Analog-Schnittstelle, Common Exciter und langsamer Pulsmodus. Beide Modell-Linien werden mit je drei Leistungen verfügbar sein: 400 / 800 / 1200 Watt. Die ersten beiden Generatoren werden luftgekühlt sein, der letzte wassergekühlt. Es wird ein Upgrade möglich sein: Sowohl die Leistungsklassen als auch die Linie von PowerCube plain nach PowerCube flex können wir für Sie durchführen.

Natürlich arbeiten alle PowerCubes nahtlos mit den MatchingCubes zusammen.

 PowerCubeplainPowerCubeflex 
Frequency13.5613.56MHz
FST+-0.5MHz
RF Power4-4004-400W
Reflected Power<150<150W
Power Resolution0.20.2W
Power RegulationPFOR PFOR / PREAL / DC-BIAS
Load Impedance5050Ohms
Harmonic Distortion<-30<-30dBc
Non-Harmonic Distortion<-60<-60dBc
Pulse Frequency (internal)<30kHz
Pulse Frequency (external)<0.5<30kHz
Pulse Length>1000>25usec
RF OutNN
MatchingCube ControlRS-232
InterlockRS-232RS-232
External Pulse InputSMA (TTL)SMA (TTL)
Common ExciterSMA (TTL)SMA (TTL)
Phase Shifter CEX0-360° in 2.5° steps
Remote ControlAnalog (15p)Analog (15p)

RS-232 Ethernet Modbus

ProductFrequency [MHz]Power [W]
PC-13-400_plain13.56400
PC-13-400_flex13.56400
PC-13-800_plain13.56800
PC-13-800_flex13.56800
PC-13-1200_plain13.561200
PC-13-1200_flex13.561200

Produkt zur Zeit in der Entwicklung.