barthel HF-Technik GmbH
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ISO 9001:2015 zertifiziert
PowerCube
13.56MHz/up to 1200W
Zusammen mit unseren MatchingCubes sind die PowerCubes geeignet für ICP- und CCP-Anlagen. Sie finden Anwendungen in RF Sputtering, Thin Film Coating, PE-CVD, Reactive Ion Etching (RIE) und Substrate Biasing.
In Kürze werden unsere neuen HF-Generatoren verfügbar sein: der PowerCube.
In die Entwicklung haben wir unser Wissen und über Jahre gesammelte Erfahrung einfließen lassen. Wir verfolgen drei Ziele: Der neue Generator wird robust, flexibel und preiswert sein. Das Produkt wird zwei Modell-Linien besitzen:
PowerCube plain und PowerCube flex. Im PowerCube flex wird ein schneller ARM Prozessor für Flexibilität sorgen: aktive Front, digitale Schnittstellen und schneller Pulsmodus. Der PowerCube plain ist auf das Wesentliche reduziert: Analog-Schnittstelle, Common Exciter und langsamer Pulsmodus. Beide Modell-Linien werden mit je drei Leistungen verfügbar sein: 400 / 800 / 1200 Watt. Die ersten beiden Generatoren werden luftgekühlt sein, der letzte wassergekühlt. Es wird ein Upgrade möglich sein: Sowohl die Leistungsklassen als auch die Linie von PowerCube plain nach PowerCube flex können wir für Sie durchführen.
Natürlich arbeiten alle PowerCubes nahtlos mit den MatchingCubes zusammen.
| PowerCubeplain | PowerCubeflex | ||
|---|---|---|---|
| Frequency | 13.56 | 13.56 | MHz |
| FST | – | +-0.5 | MHz |
| RF Power | 4-400 | 4-400 | W |
| Reflected Power | <150 | <150 | W |
| Power Resolution | 0.2 | 0.2 | W |
| Power Regulation | PFOR | PFOR / PREAL / DC-BIAS | |
| Load Impedance | 50 | 50 | Ohms |
| Harmonic Distortion | <-30 | <-30 | dBc |
| Non-Harmonic Distortion | <-60 | <-60 | dBc |
| Pulse Frequency (internal) | – | <30 | kHz |
| Pulse Frequency (external) | <0.5 | <30 | kHz |
| Pulse Length | >1000 | >25 | usec |
| RF Out | N | N | |
| MatchingCube Control | – | RS-232 | |
| Interlock | RS-232 | RS-232 | |
| External Pulse Input | SMA (TTL) | SMA (TTL) | |
| Common Exciter | SMA (TTL) | SMA (TTL) | |
| Phase Shifter CEX | – | 0-360° in 2.5° steps | |
| Remote Control | Analog (15p) | Analog (15p) RS-232 Ethernet Modbus |
| Product | Frequency [MHz] | Power [W] |
|---|---|---|
| PC-13-400_plain | 13.56 | 400 |
| PC-13-400_flex | 13.56 | 400 |
| PC-13-800_plain | 13.56 | 800 |
| PC-13-800_flex | 13.56 | 800 |
| PC-13-1200_plain | 13.56 | 1200 |
| PC-13-1200_flex | 13.56 | 1200 |
Produkt zur Zeit in der Entwicklung.