MatchingCube -S-

various frequencies / up to 2000W

Die Modelle der MatchingCube – S – Serie zeichnen sich durch eine sehr kompakte Bauweise aus. Sie besitzen keine interne Spule. Zusammen mit unseren HF-Generatoren sind die MatchingCubes der S-Serie darum insbesondere geeignet für ICP-Anlagen. Sie finden Anwendungen in RF Sputtering, Thin Film Coating, PE-CVD, Reactive Ion Etching (RIE) und Substrate Biasing.  

Die MatchingCubes sorgen für Anpassung und damit für den Leistungstransport vom HF-Generator in die Plasma-Anlage. Für die MatchingCube der S-Serie verwenden wir kompakte variable Vakuumkondensatoren. Durch das kompakte Gehäuse eignen sich die MatchingCube – S – auch, um ältere Anlagen mit einem neuen, modernen Match auszurüsten. Die MatchingCubes können Sie entweder über eine serielle Schnittstelle oder über einen barthel HF-Generator fernsteuern. Eine Fernsteuer-Software gehört zum Lieferumfang. Diese Software erlaubt den Zugriff auf Regelparameter und das Erstellen von Anwendungsprofilen. So können Sie den MatchingCube optimal für Ihre Anwendung nutzen.

 – S1 –– S2 – 
Frequency 13.56 et al.13.56 et al.MHz
RF Power (typ)10002000W
ConfigurationL / GammaL / Gamma
AutoMatchPM / PRPM/PR
Input ConnectorNN (HV)
Output ConnectorCopper strap / 7/16Copper strap / 7/16
Dimensions HxWxD114x170x206130x260x335mm

Die Modelle der MatchingCube – S – Serie sind in zwei Konfigurationen erhältlich. Welche Schaltungskonfiguration – L oder Gamma – am besten funktioniert, hängt von der Lastimpedanz der Anwendung ab. Auch können wir für Sie andere Arbeitsfrequenzen realisieren. Für die AutoMatch-Funktion verwenden die MatchingCube – S – Modelle einen Phasenbetragsdetektor (PM). Auf Wunsch kann stattdessen ein Richtkoppler (PR) Verwendung finden. Gerne beraten wir Sie.

Art.No.ProductFrequency [MHz]Power [W]Remarks
210190MC-S1-13-600
(MCiv-600)
13.56600 see options
210196MC-S1-13-100013.561000
210200MC-S2-13-2000
(MCv-2000)
13.562000

Weitere Modelle sind auf Anfrage erhältlich.