barthel HF-Technik GmbH
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Web: www.barthel-hf.com
ISO 9001:2015 zertifiziert
MatchingCube -A-
narrowband/broadband
up to 600W
Zusammen mit unseren HF-Generatoren sind die MatchingCubes der A-Serie geeignet für ICP- und CCP-Anlagen. Sie finden Anwendungen in RF Sputtering, Thin Film Coating, PE-CVD, Reactive Ion Etching (RIE) und Substrate Biasing.
Die MatchingCubes sorgen für Anpassung und damit für den Leistungstransport vom HF-Generator in die Plasma-Anlage. Für die MatchingCube der A-Serie verwenden wir Luftdrehkondensatoren. Die MatchingCubes – A – können breitbandig arbeiten. Für Breitband-Anwendungen sind sie ein optimales Gespann mit unseren Breitband-Generatoren. Die MatchingCubes können Sie entweder über eine serielle Schnittstelle oder über einen barthel HF-Generator fernsteuern. Eine Fernsteuer-Software gehört zum Lieferumfang. Diese Software erlaubt den Zugriff auf Regelparameter und das Erstellen von Anwendungsprofilen. So können Sie den MatchingCube optimal für Ihre Anwendung nutzen.
| Broadband | Narrowband | ||
|---|---|---|---|
| Frequency | 10-100 | 2/13.56/27.12/40.68 et al. | MHz |
| RF Power (typ) | 300/600 | 300/600 | W |
| Configuration | L | L/T/Gamma | |
| AutoMatch | PR | PM/PR | |
| Input Connector | N | N | |
| Output Connector | N | N/7/16/Copper strap | |
| Dimensions HxWxD | 190x190x300 | 190x190x300 | mm |
Die Schmalband-Modelle der MatchingCube A-Serie sind für alle drei Konfigurationen und auch frei wählbare andere Frequenzen erhältlich. Welche Schaltungskonfiguration – L, T oder Gamma – am besten funktioniert, hängt von der Lastimpedanz der Anwendung ab. Für die AutoMatch-Funktion verwenden die Breitband-MC optional einen Richtkoppler (PR), die Schmalband-MC einen Phasenbetragsdetektor (PM). Gerne beraten wir Sie.
| Art.No. | Product | Frequency [MHz] | Power [W] | Remarks |
|---|---|---|---|---|
| 210070 | MC-A-2-300 | 2 | 300 | see options |
| 210092 | MC-A-13-600 | 13.56 | 600 | |
| 210300 | MC-A-27-600 | 27.12 | 600 | |
| MC-A-40-600 | 40.68 | 600 | ||
| 210052 | MC-A-10/50-300 (MCi-300) | 10-50 | 300 | |
| 210053 | MC-A-10/20-600 (MCi-600) | 10-20 | 600 | |
| 210062 | MC-A-50/100-300 (MCii-300) | 50-100 | 300 |
Weitere Modelle sind auf Anfrage erhältlich.