MatchingCube -A-


narrowband/broadband
up to 600W

Zusammen mit unseren HF-Generatoren sind die MatchingCubes der A-Serie geeignet für ICP- und CCP-Anlagen. Sie finden Anwendungen in RF Sputtering, Thin Film Coating, PE-CVD, Reactive Ion Etching (RIE) und Substrate Biasing.  

Die MatchingCubes sorgen für Anpassung und damit für den Leistungstransport vom HF-Generator in die Plasma-Anlage. Für die MatchingCube der A-Serie verwenden wir Luftdrehkondensatoren. Die MatchingCubes – A – können breitbandig arbeiten. Für Breitband-Anwendungen sind sie ein optimales Gespann mit unseren Breitband-Generatoren. Die MatchingCubes können Sie entweder über eine serielle Schnittstelle oder über einen barthel HF-Generator fernsteuern. Eine Fernsteuer-Software gehört zum Lieferumfang. Diese Software erlaubt den Zugriff auf Regelparameter und das Erstellen von Anwendungsprofilen. So können Sie den MatchingCube optimal für Ihre Anwendung nutzen.

 BroadbandNarrowband 
Frequency 10-1002/13.56/27.12/40.68 et al.MHz
RF Power (typ)300/600300/600W
ConfigurationLL/T/Gamma
AutoMatchPRPM/PR
Input ConnectorNN
Output ConnectorNN/7/16/Copper strap
Dimensions HxWxD190x190x300190x190x300mm

Die Schmalband-Modelle der MatchingCube A-Serie sind für alle drei Konfigurationen und auch frei wählbare andere Frequenzen erhältlich. Welche Schaltungskonfiguration – L, T oder Gamma – am besten funktioniert, hängt von der Lastimpedanz der Anwendung ab. Für die AutoMatch-Funktion verwenden die Breitband-MC optional einen Richtkoppler (PR), die Schmalband-MC einen Phasenbetragsdetektor (PM). Gerne beraten wir Sie.

Art.No.ProductFrequency [MHz]Power [W]Remarks
210070MC-A-2-3002300see options
210092MC-A-13-60013.56600
210300MC-A-27-60027.12600
MC-A-40-60040.68600
210052MC-A-10/50-300
(MCi-300)
10-50300
210053MC-A-10/20-600
(MCi-600)
10-20600
210062MC-A-50/100-300
(MCii-300)
50-100300

Weitere Modelle sind auf Anfrage erhältlich.