LFG

40kHz-1MHz/500W

Zusammen mit unseren MatchingCubes sind die LF-Generatoren geeignet für ICP- und CCP-Anlagen. Sie finden Anwendungen in Etching, Dielectric Sputtering, PE-CVD, Substrate Biasing, Plasma Polymer Processing und DLC Coating.

Die LF-Generatoren sind moderne, robuste Generatoren. Sie bieten die Frequenz als zusätzlichen Parameter, sodass Sie einen zusätzlichen Freiheitsgrad zur Optimierung Ihrer Anwendung erhalten. Ein Microcontroller sorgt dafür, dass der Generator in jedem Augenblick sicher und zuverlässig arbeitet. Das Touch-Panel bietet Ihnen eine übersichtliche und komfortable Bedienung. Außerdem können Sie den HF-Generator über eine serielle Schnittstelle fernsteuern. Eine Software gehört zum Lieferumfang.

RF Power Accuracy:+- 3% / 3WCooling:Forced Air
Load Impedance:50 OhmsMains Power:90 – 240V / 50 Hz
Harmonic Distortion< -30 dBcRF Output:N
Pulse Frequency:20 kHz max.Remote Control RS-232:Sub-D9
Pulse Length:50 – 9949 usec.MatchingCube:Sub-D9
Ignition:< 10 sec.Interlock:Sub-D9
Ambient Temperature:10 – 35°CAnalog Interface:Sub-D25

Art.No.ProductFrequency [MHz]Power [W]
187450RFG-1/15-1001-15100
187000RFG-10/100-10010-100100
187010RFG-10/70-30010-70300
187040RFG-60/80-30060-80300
187320RFG-3/10-4003-10400
187300RFG-1/5-6001-5600

Weitere Modelle sind auf Anfrage erhältlich.