barthel HF-Technik GmbH
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ISO 9001:2015 zertifiziert
LFG
40kHz-1MHz/500W
Zusammen mit unseren MatchingCubes sind die LF-Generatoren geeignet für ICP- und CCP-Anlagen. Sie finden Anwendungen in Etching, Dielectric Sputtering, PE-CVD, Substrate Biasing, Plasma Polymer Processing und DLC Coating.
Die LF-Generatoren sind moderne, robuste Generatoren. Sie bieten die Frequenz als zusätzlichen Parameter, sodass Sie einen zusätzlichen Freiheitsgrad zur Optimierung Ihrer Anwendung erhalten. Ein Microcontroller sorgt dafür, dass der Generator in jedem Augenblick sicher und zuverlässig arbeitet. Das Touch-Panel bietet Ihnen eine übersichtliche und komfortable Bedienung. Außerdem können Sie den HF-Generator über eine serielle Schnittstelle fernsteuern. Eine Software gehört zum Lieferumfang.
| RF Power Accuracy: | +- 3% / 3W | Cooling: | Forced Air |
| Load Impedance: | 50 Ohms | Mains Power: | 90 – 240V / 50 Hz |
| Harmonic Distortion | < -30 dBc | RF Output: | N |
| Pulse Frequency: | 20 kHz max. | Remote Control RS-232: | Sub-D9 |
| Pulse Length: | 50 – 9949 usec. | MatchingCube: | Sub-D9 |
| Ignition: | < 10 sec. | Interlock: | Sub-D9 |
| Ambient Temperature: | 10 – 35°C | Analog Interface: | Sub-D25 |
| Power [W] | 40-80 kHz | 80-160 kHz | 160-300 kHz | 300-500 kHz |
|---|---|---|---|---|
| 400 | LFG-40/80-400 | LFG-80/160-400 | LFG-160/320-400 | LFG-300/500-400 |
| 800 | LFG-40/80-800 | LFG-80/160-800 | LFG-160/320-800 | LFG-300/500-800 |
| 1200 | LFG-40/80-1200 | LFG-80/160-1200 | LFG-160/320-1200 | LFG-300/500-1200 |
Weitere Modelle sind auf Anfrage erhältlich.