Broadband RFG

10-100MHz/100W et al

Zusammen mit unseren MatchingCubes sind die HF-Generatoren geeignet für ICP- und CCP-Anlagen. Sie finden Anwendungen in RF Sputtering, Thin Film Coating, PE-CVD, Reactive Ion Etching (RIE) und Substrate Biasing.

Die HF-Generatoren der RFG-BB Familie sind moderne, robuste Generatoren. Im Vergleich zu den anderen HF-Generatoren bieten sie die Frequenz als zusätzlichen Parameter. Das ist ein zusätzlicher Freiheitsgrad zur Optimierung der Anwendung. Ein Microcontroller sorgt dafür, dass der Generator in jedem Augenblick sicher und zuverlässig arbeitet. Das Touch-Panel bietet Ihnen eine übersichtliche und komfortable Bedienung. Außerdem können Sie den HF-Generator über eine serielle Schnittstelle fernsteuern. Eine Software gehört zum Lieferumfang.

RF Power Accuracy:+- 3% / 3WCooling:Forced Air
Load Impedance:50 OhmsMains Power:90 – 240V / 50 Hz
Harmonic Distortion< -30 dBcRF Output:N
Pulse Frequency:20 kHz max.Remote Control RS-232:Sub-D9
Pulse Length:50 – 9949 usec.MatchingCube:Sub-D9
Ignition:< 10 sec.Interlock:Sub-D9
Ambient Temperature:10 – 35°CAnalog Interface:Sub-D25

Art.No.ProductFrequency [MHz]Power [W]
187450RFG-1/15-1001-15100
187000RFG-10/100-10010-100100
187010RFG-10/70-30010-70300
187040RFG-60/80-30060-80300
187320RFG-3/10-4003-10400
187300RFG-1/5-6001-5600

Weitere Modelle sind auf Anfrage erhältlich.